CS - EUV Associate Engineer - Tainan

工作使命

EUV 客戶服務（CS）技術員負責在客戶現場執行 EUV 量產機的維修、故障排除、升級與例行保養（PM），確保系統可用率、良率與安全合規，並提供即時的狀態回報與知識傳遞。

工作說明

CS 組織於客戶現場執行 ASML 系統的驗證、維修、硬體更換及安裝，並確保必要知識轉移。

在指示範圍內工作、能處理常見例外並於類似情境做出合宜判斷。

與資深工程師/ 主管確認優先順序與計畫，於有限監督下完成程序並檢查結果。

參與回饋流程與持續改進活動（CI）。

工作內容（Service action + Regular PM）

A. Service action / PM

Basic Action :

SRC：DGA swap、Tin reload

SCN：SWPC、LLGV swap

DL：RFG swap、Pump swap（泵浦更換）*

Advance Action :

SRC：IF cap cleaning、SRBB swap*、Collector swap*、TCBA/CFR/FV/HFS

SCN：Top SISO、Top remove

DL：Clean water、circuit Al/Cu

B. Regular PM（例行保養）

Daily/Shift

系統健康：Alarms/Warnings、趨勢與關鍵參數巡檢

目視點檢：洩漏、異音、震動、溫度、潔淨度

耗材壽命追蹤：濾心、O-ring 等

Weekly

區域清潔與除塵（外罩、平台、治具）

冷卻/氣體/真空子系統快速點檢（含異常紀錄）

Monthly/Quarterly

指定濾材更換、軸封/潤滑檢查

校正/對位/基準檢查，更新基準值與趨勢圖

效能驗證（Throughput/Availability）與改善建議

Post-PM/Service

Leak check、功能測試、Recipe 健康檢查

完成表單、偏差與備件消耗回報

行政支援與合規

工單/進度交接、問題描述清楚傳遞；必要時升級通報（Escalation）。

執行完美物料退回（PMR）與備件序號/時數追蹤（可追溯性）。

無塵室規範、安全與 PIP 規範遵循，落實 LOTO 與 2-person rule。

工作職責

高品質服務

依 SOP/WI 完成維修/升級/保養；關鍵步驟雙人覆核與扭力/尺寸紀錄。

執行基本故障排除並支援機台恢復，嚴格遵守作業規範。

知識建立與傳遞

維持對流程與程序的最新理解，檢視 CBT 與流程資訊。

主動向資深工程師請教及學習

物料/產品管理

辨識損壞/遺失材料並回報，確保知識產權與工具安全（鎖定/封存）。

流程優化與持續改進

提出流程改善建議，參與 CI 與問題根因分析（RCA）。

問題交接與文件管理

高品質提交物料通知、目擊報告與其他回饋文件；完整交接。

客戶溝通

口頭/書面更新系統進度與風險，維持專業形象。

個人技能

接納文化差異、良好團隊合作精神與自我驅動。

可在多變且艱鉅的環境中多工處理。

俱備中英文溝通能力與紀錄能力。

具備硬體手作技能或相關實務經驗，重視細節與紀律。

其他資訊

可依業務需求彈性出差；可能需輪班（含夜班）或週末支援（依專案排程）。

遵循客戶與公司安全規範，健康與安全第一。